安徽特種氣體-特種氣體廠-安徽譜純氣體(多圖)：

合肥激光氣體,合肥特種氣體,安徽準(zhǔn)分子預(yù)混氣

電子工業(yè)生產(chǎn)中所需的高純氣體

隨著現(xiàn)代分析儀器的發(fā)展，國(guó)外對(duì)高純氣體的分析經(jīng)歷了離線分析(off-line)、在線分析(on-line)和原位分析(in-situ)三個(gè)階段。我國(guó)在高純氣體分析方面，也已進(jìn)入在線分析階段，且分析檢測(cè)的靈敏度高，安徽特種氣體，可以實(shí)現(xiàn)氣體中痕量金屬雜質(zhì)的分析測(cè)試 。然而，由于一些氣態(tài)樣品不能直接導(dǎo)入分析儀器進(jìn)行金屬成分的測(cè)量，一般需要把氣體樣品先進(jìn)行液體化，即將含有金屬雜質(zhì)的氣體樣品捕集到溶液中，以該溶液為樣品，才能選定合適的檢測(cè)手段進(jìn)行分析。由于高純氣體中的金屬雜質(zhì)含量低至ppb至ppt級(jí)，因此，對(duì)測(cè)定時(shí)使用的取樣方法(防止樣品污染)、檢測(cè)方法以及分析測(cè)試儀器(靈敏度和檢測(cè)限等)均提出了更高的操作要求。本文綜述了電子氣體中金屬雜質(zhì)的一些捕集方法以及幾種不同的檢測(cè)方法。

特種氣體是光電子、微電子等領(lǐng)域，特別是在超大的規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐源材料。高純電子特種氣體被形容為半導(dǎo)體工業(yè)的”血液”和”糧食”，是大規(guī)模集成電路、多晶硅、太陽能、光纖等先進(jìn)制造業(yè)的重要原材料，屬于國(guó)家加快扶持發(fā)展的戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)。然而早些年，電子特種氣體，相關(guān)產(chǎn)品被國(guó)外壟斷，市場(chǎng)定價(jià)權(quán)掌握在國(guó)外廠商手中。

特種氣體中單元高純氣體的品種及用途

特種氣體是由兩大類氣體組成的。一類為單元高純氣體，另一類為混合氣體。對(duì)于單元高純氣體，根據(jù)現(xiàn)已收集到的文獻(xiàn)，匯總起來共有227種，可分成五個(gè)類別: 一、電子氣體，共85種(序號(hào)1～85)，占總數(shù)的36.3％; 二、有機(jī)氣體，共61種(序號(hào)86～146)，特種氣體公司，占總數(shù)的27.8％; 三、無機(jī)氣體，共35種(序號(hào)147～181)，占總數(shù)的15.5％;

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